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富創精密已成為全球為數不多能夠為7納米工藝制程半導體設備批量提供精密零部件的廠商。

中國半導體產業發展如同“攀登珠峰”，如果把半導體設備比作“登山靴”，那精密零部件就是“鞋底”，決定著設備的制造供應和升級迭代，這也曾是國內半導體設備企業被“卡脖子”的環節之一。

富創精密是國內半導體設備精密零部件的領軍企業，為半導體設備提供機械及機電零組件、氣體傳輸系統等產品，覆蓋了芯片制造的光刻、刻蝕、薄膜沉積、涂膠顯影等多個環節。目前，富創精密已成為全球為數不多能夠為7納米工藝制程半導體設備批量提供精密零部件的廠商。

富創精密創始人、董事長鄭廣文表示，富創精密主要在三大領域發力：一是精密金屬零件加工，從OEM（原始設備制造商）起步，目前半導體領域90%的金屬零部件都能制作并實現國產化；二是真空閥體等產品類的業務，這些產品很多國產化程度都比較低，有產品90%都依賴進口，國產替代空間廣闊；三是氣體傳輸系統，這是公司業績增長“新曲線”。

“以7納米芯片為例，已經沒法用機械方式去挖溝槽，主要靠化學反應，而化學反應主要靠氣體。整個半導體在刻蝕、鍍膜、注入等環節都靠氣體，對氣體傳輸的潔凈程度和控制精準度提出很高要求。”鄭廣文表示。

目前，氣體傳輸整體系統及關鍵零組件制造核心技術的國產化率仍然較低，氣體傳輸系統零部件市場主要由少數大型企業主導，而富創精密通過投資的方式彌補了這一關鍵環節的短板。

鄭廣文表示：“氣體傳輸業務的增長勢頭非常好。首先是市場的‘絕對數量’夠，氣體傳輸系統大約占整個半導體設備銷售額的7%到8%。其次是國產化空間大，目前該領域進口比例較高。最后是富創精密的技術沒問題，現在各大半導體設備廠商研發新工藝，富創精密大多都參與設計。”

校對：冉燕青