21世紀經濟報道
易妍君
2025-09-09 10:09
人民財訊9月8日電,盛美上海(688082)今日宣布推出首款KrF工藝前道涂膠顯影設備Ultra Lith KrF,旨在支持半導體前端制造。該系統的問世標志著盛美上海光刻產品系列的重要擴充,具有高產能、先進溫控技術以及實時工藝控制和監測功能。首臺設備系統已于2025年9月交付中國頭部邏輯晶圓廠客戶。